韓國(guó)耐神大面積幹涉傳感器nXI-2采用幹涉測量技術(shù)，這(zhè)是一(yī)種用于校準精密測量設備并精确測量大面積的技術(shù)。

在生成大量數(shù)據的同時(shí)，大面積幹涉儀nXI-2的測量速度是傳統幹涉測量法的十倍，并提供可(kě)靠的數(shù)據，從(cóng)而提供各種信息，以提高工(gōng)藝效率和(hé)生産質量。

由于大面積幹涉儀nXI-2可(kě)以快(kuài)速測量大面積，因此非常适合大規模生産線，而且其先進的測量技術(shù)确保了(le)測量的高可(kě)靠性。

大面積幹涉儀nXI-2測量台階、厚度和(hé)粗糙度，因此可(kě)用于測量微(wēi)米或更小的點，例如(rú)半導體的微(wēi)觀結構、凸起和(hé)粗糙度，以及柱間(jiān)隔、表面結構和(hé)面闆中異物(wù)的突出物(wù)等。此外(wài)，它可(kě)以分離薄膜，因此在測量具有多層結構的産品時(shí)表現出色。

大面積幹涉儀nXI-2可(kě)測量最大的視(shì)野範圍FOV為(wèi)100mm×100mm ，因此用于測量各種産品。