韓國(guó)耐神白光(guāng)幹涉傳感器nXI-5采用幹涉測量技術(shù)，這(zhè)是一(yī)種用于校準精密測量設備并精确測量小面積的技術(shù)。因此，它提供了(le)可(kě)靠的數(shù)據，以提高流程效率并有效提高生産質量。

此外(wài)，這(zhè)種更快(kuài)的測量解決方案非常适合大規模生産線，其先進的測量技術(shù)确保了(le)測量的高可(kě)靠性。

白光(guāng)幹涉傳感器nXI-5測量台階、厚度和(hé)粗糙度，因此可(kě)用于測量1微(wēi)米或者更小，例如(rú)半導體的微(wēi)結構、凸起和(hé)粗糙度，以及面闆中的 Column Spacer 、表面結構和(hé)因異物(wù)引起的凸起等。此外(wài)，它還可(kě)以分離薄膜和(hé)因此，在測量多層結構的産品方面表現出色。

根據客戶需求，既可(kě)以作(zuò)為(wèi)白光(guāng)幹涉儀單機使用也可(kě)以作(zuò)為(wèi)傳感器模組配套于檢測設備上(shàng)。